產品特色
- 研磨工件表面可達Ra:300nm,且無異常研磨痕
- 砂輪同時具備良好研磨移除率及耐磨耗性
範例 | |
砂輪規格 | SD1200N100V-MICRO |
砂輪尺寸 | 303D-3W-7X-32T-237H-30S |
加工材料 | 氮化鋁(AlN) |
研磨設備 | SPEEDFAM |
• 其他設備與規格尺寸相關應用,請洽聯絡方式
檔案連結:
氮化鋁(AlN)晶圓背研減薄研磨
1 file(s) 0.2MB
產品特色
範例 | |
砂輪規格 | SD1200N100V-MICRO |
砂輪尺寸 | 303D-3W-7X-32T-237H-30S |
加工材料 | 氮化鋁(AlN) |
研磨設備 | SPEEDFAM |
• 其他設備與規格尺寸相關應用,請洽聯絡方式
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