Case Study
成功案例
研磨
2022-09-29

氮化鋁(AlN)晶圓背研減薄研磨

產品特色

  1. 研磨工件表面可達Ra:300nm,且無異常研磨痕
  2. 砂輪同時具備良好研磨移除率及耐磨耗性

 

範例
砂輪規格 SD1200N100V-MICRO
砂輪尺寸 303D-3W-7X-32T-237H-30S
加工材料 氮化鋁(AlN)
研磨設備 SPEEDFAM

•  其他設備與規格尺寸相關應用,請洽聯絡方式

 

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